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SR8241(尼得科-三協(xié)半導體晶圓搬運用機器人)

  • 大搬送范圍的設計

  • 獨立的雙驅(qū)動系統(tǒng)實現(xiàn)2片同時取放

  • 緊湊的構(gòu)造、很小的占有面積

  • 應對10mm的片間距

  • 和晶圓合同片間距的2片同取放

  • 低取片高度

  • 具有多功能和可回旋的手臂

  • 3段鏈接ARM無行走軌道的設計、應對最大5臺晶圓合平行排列

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